1. שני המסלולים המרכזיים
סיליקון ניטריד (Si3N4) מיוצר בעיקר בשני מסלולים. חנקה ישירה מגיבה אבקת סיליקון עם גז חנקן בטמפרטורה גבוהה, בעוד הפחתת פחמימות מגיבה סיליקה עם פחמן באווירת חנקן. שני המסלולים מייצרים אבקת סיליקון ניטריד, אך הם שונים בחומרי גלם, עלות, טוהר ומאפייני החלקיקים, מה שמחליט באיזה מסלול בוחר היצרן.
2. ניטרידציה ישירה של סיליקון
בנינטרציה ישירה, אבקת סיליקון בטוהר- גבוה מחוממת באווירת חנקן ב-1,200 עד 1,400 מעלות צלזיוס. הסיליקון מגיב עם חנקן ליצירת סיליקון ניטריד בתגובה אקסותרמית. יש לשלוט בזהירות על הטמפרטורה וזרימת החנקן, מכיוון שהתגובה מייצרת חום שעלול לחמם יתר על המידה את המיטה ולגרום לניטרידציה לא מלאה. המוצר נמעך ונטחן לגודל החלקיקים הנדרש.
3. הפחתת פחמימות סיליקה
הפחתה קרבותרמית מערבבת סיליקה עם פחמן ומחממת את התערובת בחנקן בכ-1,400 עד 1,500 מעלות צלזיוס. הפחמן מפחית את הסיליקה, והסיליקון מגיב עם חנקן ליצירת סיליקון ניטריד. דרך זו יכולה לתת אבקה עדינה ואחידה עם הרכב פאזה מבוקר, אך יש להסיר שאריות פחמן וסיליקה על ידי חמצון וטיפול בחומצה לאחר התגובה.
4. פוסט-עיבוד סינתזה
לאחר הסינתזה, האבקה נטחנת כדי לפרק אגרטלים ולהתאים את גודל החלקיקים, מסווגת לפיזור גודל מוגדר, ומטוהרת כדי להסיר שאריות סיליקון, פחמן, סיליקה או ברזל. יחס הפאזה אלפא/ביתא נשלט, מכיוון שהוא משפיע על התנהגות הסינטר והמאפיינים של הקרמיקה הסופית. האבקה המוגמרת ארוזה במיכלים-מוגנים ללחות.
5. מאפייני האבקה המוגמרת
אבקת סיליקון ניטריד משלבת קשיות גבוהה, חוזק בטמפרטורה גבוהה, צפיפות נמוכה, עמידות בפני זעזועים תרמיים ויציבות כימית. מאפיינים אלה הופכים אותו לבעל ערך במיסבים קרמיים, כלי חיתוך, רכיבי מנוע, חסיני אש ומצעים אלקטרוניים. הציון מצוין לפי טוהר, גודל חלקיקים, יחס פאזה ומגבלות הטומאה עבור היישום.
6. שאלות נפוצות
ש 1: כיצד נוצר סיליקון ניטריד?על ידי ניטרידינג של אבקת סיליקון בחנקן או על ידי הפחתה קרבותרמית של סיליקה עם פחמן באווירת חנקן.
ש 2: איזו טמפרטורה נדרשת?ניטרידציה ישירה פועלת ב-1,200 עד 1,400 מעלות צלזיוס; הפחתת פחמימות בכ-1,400 עד 1,500 מעלות צלזיוס.
ש 3: איזה מסלול נותן אבקה עדינה יותר?הפחתת פחמימות יכולה לתת אבקה עדינה ואחידה; מוצר ניטרציה ישיר נטחן בדרך כלל לפי גודל.
ש 4: מדוע יחס אלפא/ביתא נשלט?יחס הפאזות משפיע על התנהגות הסינטרה ועל התכונות המכניות של הקרמיקה המחוברת.
ש 5: באיזה פוסט-טיפול נדרש?כרסום, סיווג וטיהור להסרת שאריות סיליקון, פחמן, סיליקה וברזל.
ש6: למה משמש סיליקון ניטריד?מיסבים קרמיים, כלי חיתוך, רכיבי מנוע, חסיני אש ומצעים אלקטרוניים.


