שימוש בטכנולוגיית שיקוע פלזמה קשת קתודית. שקיעת פלזמה קתודית היא טכנולוגיית שקיעת סרט דק חדשה יחסית הדומה במובנים רבים לציפוי יונים. היתרונות שלו: קצב יינון גבוה בזרימת החלקיקים הנפלטים, וליוני מיוננים אלו יש אנרגיה קינטית גבוהה (40-100eV).
רבים מהיתרונות של שקיעת קרן יונים, כגון הידבקות משופרת, צפיפות מוגברת של מצבים ותגובתיות גבוהה להיווצרות סרט תרכובת, כולם באים לידי ביטוי בתצהיר פלזמה קשת קתודית. לתצהיר פלזמה קשת קתודית יש יתרונות ייחודיים משלה, כגון היכולת להפקיד על מצעים בעלי צורה מורכבת יותר, עם קצב שיקוע גבוה, אחידות ציפוי טובה, טמפרטורת מצע נמוכה והכנה קלה של תרכובות או סגסוגות עם יחס כימי אידיאלי. .
החומר הקתודה מתאדה בתהליך האידוי עקב צפיפות זרם גבוהה, והאידוי שנוצר מורכב מאלקטרונים, יונים, אטומים מרכזיים בפאזה גז וחלקיקים. בנקודת קשת הקתודה, החומר מיונן כמעט מיד. היונים נפלטים בכיוון כמעט מאונך למשטח הקתודה. כאשר יוני הכרום עתירי האנרגיה יפגעו בחנקן, הם יעברו מיד תגובה כימית ויהפכו לגזים. מולקולות כרום ניטריד.
